:
ابزارهای اندازه گیری اینرسی كه برپایه سامانه های میكرو الكترو مكانیكی هستند در دهه اخیر پیشرفت چشمگیری داشته اند. شتاب سنج ها و ژیروسكوپ های جدید تجاری ابزارهای اندازه گیری اینرسی را با ابعاد كوچكتر و قیمت كمتر نسبت به نوع غیر MEMS ارائه كرده اند. این سنسورها با قیمت كم و توان مصرفی پایین باعث ایجاد بازارهایی در زمینه خودروسازی و سایر زمینه های صنعتی و تجاری شده
اند.
یكی از فاكتورهای بسیار مهم در شتاب سنج های برپایه سامانه ها ی میكرو الكترو مكانیكی فاكتور حساسیت می باشد برای رسیدن به حساسیت بالا نیازمند فركانس طبیعی پایین هستیم و برای داشتن فركانس طبیعی پایین باید ثابت فنر كوچك داشته باشیم. بنابراین در فصل اول این پروژه می خواهیم ساختار مكانیكی را طوری طراحی كنیم كه در نهایت به فركانس طبیعی پایین دست یابیم.
داشتن حساسیت بالا باعث می شود كه جرم حساسه به ازای شتاب ورودی جابجایی زیادی داشته باشد بنابراین واسط الكتریكی می تواند حتی برای ورودی های كوچك شتاب هم اشباع شود. بنابراین باید جابجایی جرم حساسه را توسط قرار دادن آن در حلقه فی دبك منفی كنترل كنیم. در فصل دوم این پروژه روابط حلقه فیدبك منفی را بدست خواهیم آورد و به بررسی پایداری آن خواهیم پرداخت.
از آنجا كه در شتاب سنج MEMS مورد نظر ما شتاب خروجی به صورت دیجیتال است لذا در حلقه فیدبك از یك كوانتایزر استفاده شده است. به همین دلیل وجود نویز كوانتیزاسیون در سیگنال خروجی اجتناب ناپذیر است. در فصل سوم به بررسی راهكارهایی برای كاهش توان نویز كوانتیزاسیون و افزایش SNR و SNDR خواهیم پرداخت و نهایتا در انتهای همین فصل تاثیر پارامترهای سیستم را بر روی پاسخ پله سامانه بررسی خواهیم كرد.
